|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12445800000 |
| 005 |
20181017094119.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 21 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-28475]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070216d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Специальные методы локальной микрообработки тонкопленочных покрытий
$e Учеб. пособие
$f Моск. ин-т электрон. машиностроения
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 98 с.
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Колобов
$b Н. А.
$g Николай Афанасьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Чернов
$b А. А.
$g Аркадий Алексеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070216
$g psbo
|
