|
|
|
|
|
00000nam2a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12445730002 |
| 005 |
20070216171055.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 15 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [75-49130]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070216d1975 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология получения и обработки основных материалов полупроводникового производства
|
| 210 |
# |
# |
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 125 с.
$c черт.
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 123-125 (19 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 550 экз.
|
| 461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-rr12445730000
$1 2001
$v Разд. 1
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Электровакуумное производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.385.002](075.8)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070216
$g psbo
|
| 830 |
# |
# |
$a АН891496;АУ506352;
|
