Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи: (05.301): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Козлов, С. В. |
| Publié: | Л. , 1970 |
| Description matérielle: |
20 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||