
Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи: (05.301): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Козлов, С. В. |
Veröffentlicht: | Л. , 1970 |
Beschreibung: |
20 с.
|
Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|