
Исследование свойств и технологии получения металлооксидных конденсаторных структур на основе легированных пленок тантала для тонкопленочных микросхем аппаратуры связи: (05.301): Автореф. дисс. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Ленингр. электротехн. ин-т связи им. М. А. Бонч-Бруевича
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Козлов, С. В. |
Апублікавана: | Л. , 1970 |
Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|