|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12284750000 |
| 005 |
20070213142239.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 12 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-38166]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070213d1980 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуум-термическое оборудование
$e Разд. «Оборуд. для выращивания монокристаллов полупроводников методом Чохральского». Курс лекций для спец. 0643
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИСИС
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 71 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов. Библиогр.: с. 70 (10 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 230 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Термические печи вакуумные
|
| 610 |
0 |
# |
$a Монокристаллы - Выращивание
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Кристаллы - Рост
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002.5:66.065.5(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кожитов
$b Л. В.
$g Лев Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Блинов
$b И. Г.
$g Иван Григорьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070213
$g psbo
|
