Разработка метода и исследование влияния сборочных операций на состояние поверхности диэлектрических пленок микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Коваленко, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1983 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12200150000 | ||
| 005 | 20070213140949.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070213d1983 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка метода и исследование влияния сборочных операций на состояние поверхности диэлектрических пленок микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.18) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1983 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 26-27 (11 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Коваленко $b А. А. $g Александр Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070213 $g psbo |