Рельефное осаждение - новый метод эпитакспального выращивания для полупроводниковых приборов и интегральных схем / Переводчик Л. Ф. Тимохина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Клейн, Т. |
| Опубликовано: | М. : Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации , 1967 |
| Физические характеристики: |
22 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Переводы иностр. лит. Серия: Технология организация производства
Пер. № 26/ЭТ-1618 |
| 00000nam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12040340000 | ||
| 005 | 20070207135256.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070207d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Рельефное осаждение - новый метод эпитакспального выращивания для полупроводниковых приборов и интегральных схем $f Переводчик Л. Ф. Тимохина |
| 210 | # | # | $a М. $c Центр. науч.-исслед. ин-т техн.-экон. исслед. и науч. информации $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 22 с. $c илл. |
| 225 | 2 | # | $a Переводы иностр. лит. Серия: Технология организация производства $f М-во электронной пром-сти СССР $v Пер. № 26/ЭТ-1618 |
| 300 | # | # | $a На обл. автор не указан |
| 675 | # | # | $a 548.5+539.293 |
| 700 | # | 1 | $a Клейн $b Т. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070207 $g psbo |