Разработка специализированных негативных фоторезистов и целевой технологии использования их в серийном производстве фотошаблонов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кислый, В. И. |
| Опубликовано: | Мн. , 1992 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12003590000 | ||
| 005 | 20070207134842.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070207d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 200 | 1 | # | $a Разработка специализированных негативных фоторезистов и целевой технологии использования их в серийном производстве фотошаблонов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Мин. радиотехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Мн. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-22 (32 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кислый $b В. И. $g Владимир Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070207 $g psbo |