Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Киреев, В. Ю. |
| Publié: | М. : Радио и связь , 1983 |
| Description matérielle: |
126 с. : ил. ; 20 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Массовая б-ка инженера «Электроника»
Вып. 36 |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||