Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Киреев, В. Ю. |
| Publicado: | М. : Радио и связь , 1983 |
| Descripción Física: |
126 с. : ил. ; 20 см
|
| Lenguaje: | Русский |
| Colección: |
Массовая б-ка инженера «Электроника»
Вып. 36 |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||