|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11933710000 |
| 005 |
20230802154519.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 35 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [83-11924]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070206d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
$f В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 126 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера «Электроника»
$v Вып. 36
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 121-125 (92 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 4000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Травление
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:621.794.4.048
|
| 700 |
# |
1 |
$a Киреев
$b В. Ю.
$g Валерий Юрьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Данилин
$b Б. С.
$g Борис Степанович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Кузнецов
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070206
$g psbo
|
