Разработка параметрических рядов унифицированных средств откачки и сверхвысоковакуумного технологического оборудования на их основе: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл.: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кеменов, В. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
30 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11843160000 | ||
| 005 | 20070206181943.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070206d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка параметрических рядов унифицированных средств откачки и сверхвысоковакуумного технологического оборудования на их основе $e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук в форме науч. докл. $e (05.27.07) $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 30 с. $c рис. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 21-24 (35 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кеменов $b В. Н. $g Владимир Николаевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070206 $g psbo |