Лазерная термолитография в производстве интегральных схем / И. М. Карпман, М. Н. Либенсон, Е. Б. Яковлев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карпман, И. М. |
| Опубликовано: | Л. : ЛДНТП , 1981 |
| Физические характеристики: |
26 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сер. «Прогрессив. технология обраб. конструкц. материалов и изделий (мех., электрофиз. и др. методы обраб. материалов, сварка, защит. покрытия)»
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||