|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11649480000 |
| 005 |
20070130180209.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 15 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-94287]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070130d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Лазерная термолитография в производстве интегральных схем
$f И. М. Карпман, М. Н. Либенсон, Е. Б. Яковлев
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$c ЛДНТП
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Сер. «Прогрессив. технология обраб. конструкц. материалов и изделий (мех., электрофиз. и др. методы обраб. материалов, сварка, защит. покрытия)»
$f Ленингр. дом науч.-техн. пропаганды
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 25 (15 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 5200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие - Лазерная обработка
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.772.1.002:621.7/.9.048.7
|
| 700 |
# |
1 |
$a Карпман
$b И. М.
$g Иосиф Михайлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Либенсон
$b М. Н.
$g Михаил Наумович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Яковлев
$b Е. Б.
$g Евгений Борисович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070130
$g psbo
|
