
Исследование и разработка технологического процесса алмазной разрезки диэлектрических подложек на модули: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Каракеян, В. И. |
Опубликовано: | М. , 1978 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr11554310000 | ||
005 | 20070129142847.0 | ||
100 | # | # | $a 20070129d1978 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Исследование и разработка технологического процесса алмазной разрезки диэлектрических подложек на модули $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.02.12) |
210 | # | # | $a М. $d 1978 |
215 | # | # | $a 22 с. |
300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 20-21 (8 назв.) |
686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Каракеян $b В. И. $g Валерий Иванович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070129 $g psbo |