Радиочастотный масс-спектрометр для контроля состава вещества в пленочной технологии микроэлектроники: (05.12.08): (Исследование, разраб. и применение). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Новосиб. электротехн. ин-т
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Каплин, В. А. |
| Veröffentlicht: | Новосибирск , 1974 |
| Beschreibung: |
26 с. : черт.
|
| Sprache: | Russisch |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||