Оборудование для фотолитографии и изготовления фотошаблонов: Учеб. пособие / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Камнев, А. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1988 |
| Физические характеристики: |
52 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11460640000 | ||
| 005 | 20190117101111.0 | ||
| 010 | # | # | $d 11 к. |
| 021 | # | # | $a RU $b [88-50207] |
| 100 | # | # | $a 20070129d1988 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оборудование для фотолитографии и изготовления фотошаблонов $e Учеб. пособие $f Моск. ин-т электрон. машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 52 с. |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Фотолитография |
| 610 | 0 | # | $a Фотошаблоны для интегральных схем |
| 675 | # | # | $a 621.382.049.77.002.5(075.8) |
| 700 | # | 1 | $a Камнев $b А. Б. $g Андрей Борисович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070129 $g psbo |