|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11460620000 |
| 005 |
20210120133109.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [89-50648]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070129d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок
$e Учеб. пособие
$f Моск. ин-т электрон. машиностроения
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 54 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 53 (8 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Пленки тонкие
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772:621.793.14(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Камнев
$b А. Б.
$g Андрей Борисович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Колобанов
$b В. И.
$g Вячеслав Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070129
$g psbo
|
