Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO2-Si3N4 с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Киев. гос. ун-т им. Т. Г. Шевченко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Калшабеков, А. С. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
15 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11419000000 | ||
| 005 | 20230914122757.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [89-7849а] |
| 100 | # | # | $a 20070124d1989 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Взаимосвязь рекомбинационных характеристик системы Si-SiO2-Si3N4 с методиками синтеза и обработки диэлектрических слоев $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f Киев. гос. ун-т им. Т. Г. Шевченко |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 15 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-15 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Калшабеков $b А. С. $g Арайбек Салыбекович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070124 $g psbo |