Исследование формирования контраста при изучении полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т физики твердого тела
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Казьмирук, В. В. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1987 |
| Физические характеристики: |
16, [1] с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11330990000 | ||
| 005 | 20070124162224.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [87-7190а] |
| 100 | # | # | $a 20070124d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование формирования контраста при изучении полупроводниковых структур методами растровой электронной микроскопии $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Ин-т физики твердого тела |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16, [1] с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-17 (16 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Казьмирук $b В. В. $g Вячеслав Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070124 $g psbo |