|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11266750000 |
| 005 |
20180427093756.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Беспл.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-76904]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070118d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Численное исследование процессов роста в модельном газоэпитаксиальном реакторе
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 28 с.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН СССР, Физ. техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
$v 1152
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 27-28 (16 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые пленки - Рост
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кадинский
$b Л. А.
|
| 701 |
# |
1 |
$a Юферев
$b В. С.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070118
$g psbo
|
