Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Илькаев, Д. Р. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11059130000 | ||
| 005 | 20070109140235.0 | ||
| 021 | # | # | $b [90-12904а] |
| 100 | # | # | $a 20070109d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование и оптимизация процессов экспонирования и проявления фоторезистов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.01) $f АН СССР, Физ.-технол. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-17 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Илькаев $b Д. Р. $g Дмитрий Радиевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070109 $g psbo |