Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН УССР. Ин-т полупроводников
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Игнатков, В. Д. |
| Published: | Киев , 1973 |
| Physical Description: |
20 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||