Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН УССР. Ин-т полупроводников
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Игнатков, В. Д. |
| Veröffentlicht: | Киев , 1973 |
| Beschreibung: |
20 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||