
Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН УССР. Ин-т полупроводников
Захавана ў:
Тып дакумента: | |
---|---|
Аўтар: | Игнатков, В. Д. |
Апублікавана: | Киев , 1973 |
Фізіч. характарыстыкі: |
20 с.
|
Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|