Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН УССР. Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Игнатков, В. Д. |
| Опубликовано: | Киев , 1973 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10963310000 | ||
| 005 | 20070109140000.0 | ||
| 021 | # | # | $b [73-7490а] |
| 100 | # | # | $a 20070109d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка физических основ получения пленок кремния на монокристаллических подложках и исследование их свойств $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f АН УССР. Ин-т полупроводников |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 19-20 |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Игнатков $b В. Д. $g Владислав Дмитриевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070109 $g psbo |