Моделирование технологических процессов ионно-плазменного распыления в условиях гибкого автоматизированного производства радиоэлектронной аппаратуры: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Иванцов, В. В. |
| Published: | Л. , 1984 |
| Physical Description: |
16 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||