Математическое моделирование процессов тепломассопереноса при выращивании полупроводниковых кристаллов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (01.04.14) / АН УССР, Ин-т техн. теплофизики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иваненко, Н. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10803780000 | ||
| 005 | 20061229154421.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061229d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Математическое моделирование процессов тепломассопереноса при выращивании полупроводниковых кристаллов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (01.04.14) $f АН УССР, Ин-т техн. теплофизики |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.14 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Иваненко $b Н. П. $g Наталия Петровна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061229 $g psbo |