Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокога вакуума: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Зотов, А. В. |
Опубликовано: | Горький , 1988 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr10719410000 | ||
005 | 20061229151519.0 | ||
021 | # | # | $b [88-3625а] |
100 | # | # | $a 20061229d1988 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокога вакуума $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского |
210 | # | # | $a Горький $d 1988 |
215 | # | # | $a 20 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Зотов $b А. В. $g Андрей Вадимович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061229 $g psbo |