Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокога вакуума: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского

Сохранено в:
Шифр документа: 70703/88,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Зотов, А. В.
Опубликовано: Горький , 1988
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr10719410000
005 20061229151519.0
021 # # $b [88-3625а] 
100 # # $a 20061229d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокога вакуума  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10)  $f Горьков. гос. ун-т им. Н. И. Лобачевского 
210 # # $a Горький  $d 1988 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Зотов  $b А. В.  $g Андрей Вадимович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061229  $g psbo