Ионное легирование полупроводников / Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум

Сохранено в:
Шифр документа: АН911896, АР413933, АУ514626,
Вид документа: Книги
Автор: Зорин, Е. И.
Опубликовано: М. : Энергия , 1975
Физические характеристики: 129 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Б-чка радиотехнолога Вып. 6
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr10709720000
005 20061229151433.0
010 # # $d 39 к. 
021 # # $b [75-99327] 
100 # # $a 20061229d1975 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Ионное легирование полупроводников  $f Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум 
210 # # $a М.  $c Энергия  $d 1975 
215 # # $a 129 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Б-чка радиотехнолога  $v Вып. 6 
300 # # $a Список лит.: с. 120-128 (139 назв.) 
345 # # $9 4000 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование ионное 
675 # # $a 621.315.592.002 
700 # 1 $a Зорин  $b Е. И.  $g Евгений Иванович 
701 # 1 $a Павлов  $b П. В.  $g Павел Васильевич 
701 # 1 $a Тетельбаум  $b Д. И.  $g Давид Исаакович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061229  $g psbo