Исследование и разработка методов ионоплазменного нанесения и травления диэлектрических покрытий для планарной технологии изготовления светоизлучающих диодов в цифро-знаковых индикаторов: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.18)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Золотарев, Ю. М. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10689510000 | ||
| 005 | 20200819110326.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061229d1978 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка методов ионоплазменного нанесения и травления диэлектрических покрытий для планарной технологии изготовления светоизлучающих диодов в цифро-знаковых индикаторов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.18) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 29 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники |
| 686 | # | # | $a 05.12.18 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Золотарев $b Ю. М. $g Юрий Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061229 $g psbo |