|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10599650000 |
| 005 |
20061219175547.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 33 к.
|
| 100 |
# |
# |
$a 20061219d1980 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические основы технологии микроэлектронных устройств
$e Учеб. пособие
$f В. И. Земский, И. К. Машковский, А. Ф. Новиков
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1980
|
| 215 |
# |
# |
$a 86 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ленингр. ин-т точ. механики и оптики, Каф. общ. и физ. химии. Библиогр.: с. 84 (14 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Земский
$b В. И.
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061219
$g psbo
|
