Разработка и исследование цилиндрических высокочастотных магнетронных систем травления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зарянкин, Н. М. |
| Опубликовано: | М. , 1981 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10474780000 | ||
| 005 | 20061208173144.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061208d1981 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование цилиндрических высокочастотных магнетронных систем травления $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.02.12) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1981 |
| 215 | # | # | $a 22 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 21-22 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Зарянкин $b Н. М. $g Николай Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061208 $g psbo |