Контроль информативных параметров полупроводниковых пластин и структур в микроэлектронике оптическими методами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.10) / Санкт-Петербург. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гамарц, Е. М. |
| Опубликовано: | СПб. , 1992 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10261220000 | ||
| 005 | 20061121162845.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061121d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Контроль информативных параметров полупроводниковых пластин и структур в микроэлектронике оптическими методами $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук $e (01.04.10) $f Санкт-Петербург. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a СПб. $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 32 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 28-32 (44 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гамарц $b Е. М. $g Емельян Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061121 $g psbo |