|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br88385 |
| 005 |
20070615160705.2 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-7256-0026-2
$d Б.ц.
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-33321
|
| 100 |
# |
# |
$a 19970916d1994 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Активируемые процессы технологии микроэлектроники
$e Сб. науч. тр.
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
$g Под ред. И.Н.Сорокина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МГИЭТ
$d 1994
|
| 215 |
# |
# |
$a 210 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр. в конце ст.
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39076
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39077
$a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33875
$a ТЭХНАЛАГІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-183478
$a Сорокин
$b И. Н.
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19970916
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|
