|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br865186 |
| 005 |
20070615152809.5 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061117d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000|y
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Повышение эффективности автоматизированного контроля процесса осаждения тонких пленок на основе емкостного метода
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.13.06
$f Истомин Алексей Сергеевич
$g [Рыбинская государственная авиационная технологическая академия им. П. А. Соловьева]
|
| 210 |
# |
# |
$a Рыбинск
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 14-16 (12 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar22114
$a ОСАЖДЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4861
$a ВАКУУМНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1593
$a АВТОМАТИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1577
$a АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.35.33
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-128585
$a Истомин
$b А. С.
$g Алексей Сергеевич
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061117
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061208
$g psbo
|
