Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5НМ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.01 / Пестов Алексей Евгеньевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пестов, А. Е. |
| Опубликовано: | Нижний Новгород , 2006 |
| Физические характеристики: |
18 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||