|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br858893 |
| 005 |
20070615152640.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061027d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5НМ
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.01
$f Пестов Алексей Евгеньевич
$g [Институт физики микроструктур РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Нижний Новгород
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 18 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15-18.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82030
$a РЕФЛЕКТОМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar58856
$a ОТРАЖЕНИЕ ВОЛН
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2414851
$a РЕНТГЕНОВСКИЕ ТРУБКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9153
$a ДИАГНОСТИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2473268
$a ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.03.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.03.39
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.35.37
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.29.39
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.35.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-122941
$a Пестов
$b А. Е.
$g Алексей Евгеньевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061027
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061208
$g psbo
|
