|
|
|
|
|
00000cam2a22000004ib4500 |
001 |
BY-NLB-br85093 |
005 |
20130312100337.0 |
010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
100 |
# |
# |
$a 19970602d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
109 |
# |
# |
$a aa
|
200 |
0 |
# |
$a Ч. 2
|
210 |
# |
# |
$d 1993
|
215 |
# |
# |
$a 137 с.
$c ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 124―134 (158 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 100 экз.
|
461 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br85093G8965
$1 2000
$v Ч. 2
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23677
$a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23678
$a ПЛАНАРНАЯ ТЭХНАЛОГІЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17608
$a МЕДЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20786
$a НИКЕЛЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12158
$a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17343
$a ЭЛЕКТРОННЫЯ МАТЭРЫЯЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24114
$a ПАДЛОЖКІ (электроніка)
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17609
$a МЕДЗЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20787
$a НІКЕЛЬ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12159
$a ІОННАЯ ІМПЛАНТАЦЫЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12827
$a КАПІЛЯРНЫЯ З'ЯВЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
610 |
0 |
# |
$a Каппилярные явления
|
675 |
# |
# |
$a 539.216.2
$v 3
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3
$v 3
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.09
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19970602
$g psbo
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060314
$g psbo
|