Угловые распределения атомов при распылении одно- и двухкомпонентных материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.04 / Патракеев Андрей Станиславович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад167221,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Патракеев, А. С.
Опубликовано: Москва , 2006
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br832588
005 20070615184537.4
100 # # $a 20060714d2006 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Угловые распределения атомов при распылении одно- и двухкомпонентных материалов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.04  $f Патракеев Андрей Станиславович  $g Московский государственный университет им. М.В.Ломоносова 
210 # # $a Москва  $d 2006 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Библиография: с. 22-23 (8 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35913  $a ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35029  $a УГЛОВЫЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3161  $a АТОМНЫЕ СТОЛКНОВЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12174  $a ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15096  $a КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7308  $a ГЕРМАНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35914  $a ФІЗІЧНАЯ ЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35030  $a ВУГЛАВЫЯ РАЗМЕРКАВАННІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3162  $a АТАМНЫЯ СУТЫКНЕННІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12175  $a ІОННАЕ РАСПЫЛЕННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15097  $a КРЭМНІЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7309  $a ГЕРМАНІЙ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.29.01  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-683230  $a Патракеев  $b А. С.  $g Андрей Станиславович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060714  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20061110  $g psbo