Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Wydane: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Opis fizyczny: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Dostępne Zamów | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||