Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Publié: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Description matérielle: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||