Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С.Турцевич, Л.П.Ануфриев
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Publicado: | Минск : Белорусская наука , 2006 |
| Descripción Física: |
231, [1] с. ; 21 см.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||