|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br813903 |
| 005 |
20070615184236.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060412d2006 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0,35 мкм на кластерном технологическом оборудовании
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.01
$f Цимбалов Андрей Сергеевич
$g [Научно-исследовательский институт системных исследований Российской академии наук]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25-26 (8 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13524
$a КЛАСТЕРЫ (хим.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34408
$a ТРАНЗИСТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121097
$a ЗВЫШВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar13525
$a КЛАСТАРЫ (хім.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34409
$a ТРАНЗІСТАРЫ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ИС
|
| 610 |
0 |
# |
$a КМОП-ІС
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.41
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-675871
$a Цимбалов
$b А. С.
$g Андрей Сергеевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060412
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
