|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br809506 |
| 005 |
20070615184151.1 |
| 100 |
# |
# |
$a 20060323d2005 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка реактора эпитаксиального наращивания одиночных подложек и исследовнаие в нем теплофизических и физико-механических процессов
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.27.06
$f Миркурбанов Халит Абдулгазизович
$g [Московский государственный институт электронной техники (технический университет)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 27 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 25-27 (20 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23677
$a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39620
$a ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24593
$a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ ПРЫБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39621
$a ЭПІТАКСІЯЛЬНЫЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24114
$a ПАДЛОЖКІ (электроніка)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15097
$a КРЭМНІЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23678
$a ПЛАНАРНАЯ ТЭХНАЛОГІЯ
$2 DVNLB
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28572
$a Россия
|
| 607 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar28573
$a Расія
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-673520
$a Миркурбанов
$b Х. А.
$g Халит Абдулгазизович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060323
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
