Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Просвирин Денис Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Просвирин, Д. Б. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2005 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||