Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Просвирин Денис Борисович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД156582,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Просвирин, Д. Б.
Опубликовано: Воронеж , 2005
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br808155
005 20220412165407.0
100 # # $a 20060320d2005 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Микроэлектронная технология изготовления тонкопленочных датчиков газов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.01  $f Просвирин Денис Борисович  $g [Воронежский государственный технический университет] 
210 # # $a Воронеж  $d 2005 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиография: с. 15-16 (13 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11346  $a ДАТЧЫКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34172  $a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33871  $a ТЭХНАЛОГІЯ ВЫТВОРЧАСЦІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11345  $a ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.55.39  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.01.81  $2 rugasnti 
686 # # $a 75.31.27  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-674281  $a Просвирин  $b Д. Б.  $g Денис Борисович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060320  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo