Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.10 / Уточкин Иван Геннадьевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД154285,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Уточкин, И. Г.
Опубликовано: Рязань , 2005
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br802229
005 20070615165954.4
100 # # $a 20060227d2005 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 01.04.10  $f Уточкин Иван Геннадьевич  $g [Рязанская государственная радиотехническая академия] 
210 # # $a Рязань  $d 2005 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиография: с. 17-20 (33 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24596  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39292  $a ЭЛЕКТРОФИЗИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20578  $a НЕУПОРЯДОЧЕННЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24597  $a ПАЎПРАВАДНІКОВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34162  $a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39293  $a ЭЛЕКТРАФІЗІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar20579  $a НЕЎПАРАДКАВАНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-384905  $a Уточкин  $b И. Г.  $g Иван Геннадьевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060227  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo