Развитие методов микротомографии и определение средней энергии электронов, отраженных от многослойных микроструктур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Сеннов Руслан Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД153563,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сеннов, Р. А.
Опубликовано: Черноголовка , 2005
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br799601
005 20070615165917.9
100 # # $a 20060216d2005 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Развитие методов микротомографии и определение средней энергии электронов, отраженных от многослойных микроструктур  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e 05.27.01  $f Сеннов Руслан Александрович  $g [Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН] 
210 # # $a Черноголовка  $d 2005 
215 # # $a 25 с. 
300 # # $a Библиография: с. 23-25 (20 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18308  $a МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67566  $a НАНОТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39126  $a ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar76888  $a СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21237  $a ОБРАТНОЕ РАССЕЯНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31472  $a СПЕКТРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18309  $a МІКРАСТРУКТУРНЫ АНАЛІЗ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67567  $a НАНАТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39127  $a ЭЛЕКТРОННАЯ МІКРАСКАПІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar76889  $a СКАНІРУЮЧАЯ ЗОНДАВАЯ МІКРАСКАПІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39469  $a ЭНЕРГЕТЫЧНЫЯ СПЕКТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39468  $a ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ СПЕКТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar31471  $a СПЕКТРОМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21238  $a АДВАРОТНАЕ РАССЕЯННЕ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.19  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-383237  $a Сеннов  $b Р. А.  $g Руслан Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060216  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo